カワマタ タカユキ
KAWAMATA Takayuki
川股 隆行
所属
東京電機大学 システムデザイン工学部 自然科学系列（システムデザイン工学部）
東京電機大学大学院 工学研究科 物質工学専攻
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 物質生命理工学専攻
職種
教授
知的財産権の種類
特許権
出願番号
特願2002-238554
出願年月日
2002/08/19
公開番号
特開2004-79810
公開年月日
2004/03/11
特許番号
特許第3865233号
取得年月日
2006/10/13
発明者
渡邉武人,野村俊雄,川合真一,川股隆行,佐藤茂生
特許名
半導体装置およびその製造方法、CMOS集積回路装置