ヤマウチ ヒロシ YAMAUCHI Hiroshi
山内 博
所属 東京電機大学 工学部 電子システム工学科
東京電機大学大学院 工学研究科 電子システム工学専攻
職種 助教(任期付)
国内外別 国内
知的財産権の種類 特許権
出願国 国内
公開番号 2004-273705
公開年月日 2004/09/30
特許名 露光装置