ヤマウチ ヒロシ
YAMAUCHI Hiroshi
山内 博
所属
東京電機大学 工学部 電子システム工学科
東京電機大学大学院 工学研究科 電子システム工学専攻
職種
助教(任期付)
国内外別
国内
知的財産権の種類
特許権
出願国
国内
公開番号
2003-166945
公開年月日
2003/06/13
発明者
山内 博、菊地 健司、玉谷 英二、西山 雅博
特許名
ウェハ端面検査装置