コバヤシ ヒロシ
KOBAYASHI Hiroshi
小林 宏史
所属
東京電機大学 工学部 先端機械工学科
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
東京電機大学大学院 工学研究科 先端機械工学専攻
職種
教授
言語種別
日本語
発行・発表の年月
2024/03/14
形態種別
会議論文
標題
スペックル光リソグラフィによる針状レジストパターンの微細化
執筆形態
共著
掲載誌名
2024年度精密工学会春季大会学術講演論文集
掲載区分
国内
総ページ数
2
著者・共著者
○小宮菖梧・岩岡友希・堀内敏行・
小林宏史