コバヤシ ヒロシ
KOBAYASHI Hiroshi
小林 宏史
所属
東京電機大学 工学部 先端機械工学科
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
東京電機大学大学院 工学研究科 先端機械工学専攻
職種
教授
発表年月日
2020/03/17
発表テーマ
高強度発光ダイオードと２５０μm角光ファイバアレイを用いた投影露光リソグラフィの基礎検討
会議名
精密工学会 春季大会 学術講演会
学会区分
全国学会
発表形式
口頭（一般）
単独共同区分
共同
発表者・共同発表者
吉田楓佳、吉田一森、鈴木佑汰、岩崎順哉、小林宏史、堀内敏行