コバヤシ ヒロシ
KOBAYASHI Hiroshi
小林 宏史
所属
東京電機大学 工学部 先端機械工学科
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
東京電機大学大学院 工学研究科 先端機械工学専攻
職種
教授
発表年月日
2020/03/17
発表テーマ
屈折率分布型レンズアレイの要素レンズを用いた等倍投影露光の解像度と露光領域の検討
会議名
精密工学会 春季大会 学術講演会
学会区分
全国学会
発表形式
口頭（一般）
単独共同区分
共同
発表者・共同発表者
榊原 渉、土門幸裕、小林宏史、堀内敏行