コバヤシ ヒロシ
KOBAYASHI Hiroshi
小林 宏史
所属
東京電機大学 工学部 先端機械工学科
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
東京電機大学大学院 工学研究科 先端機械工学専攻
職種
教授
国内外別
US
知的財産権の種類
特許権
特許番号
US8421999B2
特許名
Projection exposure apparatus and projection exposure method