コバヤシ ヒロシ
KOBAYASHI Hiroshi
小林 宏史
所属
東京電機大学 工学部 先端機械工学科
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
東京電機大学大学院 工学研究科 先端機械工学専攻
職種
教授
国内外別
国内
知的財産権の種類
特許権
特許番号
特許第5190860号
特許名
投影露光装置および投影露光方法