サトウ ケイスケ SATO Keisuke
佐藤 慶介
所属 東京電機大学 工学部 電気電子工学科
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻
東京電機大学大学院 工学研究科 電気電子工学専攻
職種 教授
発表年月日 1999/09/04
発表テーマ SiO2膜中のSi超微粒子の形成
会議名 第60回秋季応用物理学会学術講演会
開催地名 甲南大学
学会区分 全国学会
発表形式 ポスター
単独共同区分 単独
発表者・共同発表者 佐藤慶介、杉山陽介、岩瀬満雄、和泉富雄、上野武夫、矢口紀恵、庄善之、野崎眞次、森崎弘