オオゴエ ヤスハル
OHGOE Yasuharu
大越 康晴
所属
東京電機大学 理工学部 理工学科 電子工学系
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 先端技術創成専攻
東京電機大学大学院 理工学研究科 電子工学専攻
職種
教授
発表年月日
2020/09
発表テーマ
化学気相成長法により成膜した窒素含有非晶質炭素薄膜の電気特性におけるプラズマ周波数の影響
会議名
第81回応用物理学会秋季学術講演会
学会区分
全国学会
発表形式
口頭（一般）
単独共同区分
共同
発表者・共同発表者
河上瑛彦，本間章彦，平栗健二，大越康晴