発表年月日 | 2018/08 |
---|---|
発表テーマ | Effect of boron behavior on electrical properties of DLC films under thermal diffusion |
会議名 | IUMRS-ICEM (International Conference on Electronic Materials) 2018 |
学会区分 | 国際学会 |
発表形式 | ポスター |
単独共同区分 | 共同 |
発表者・共同発表者 | K. Fujimoto, A. Amira, K. Hirakuri, A. Homma, and Y. Ohgoe |