発表年月日 | 2017/08 |
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発表テーマ | Effect of Oxygen Plasma Treatment on Film Structure for Different Types of DLC films |
会議名 | IUMRS-ICAM 2017 (The 15th International Conference on Advanced materials) |
開催地名 | Kyoto, Japan |
学会区分 | 国際学会 |
発表形式 | ポスター |
単独共同区分 | 共同 |
発表者・共同発表者 | T. Mayama, H. Watanabe, M. Hiratsuka, H. Tsuboi, H. Nakamori, A. Homma, K. Hirakuri, and Y. Ohgoe |