オオゴエ ヤスハル OHGOE Yasuharu
大越 康晴
所属 東京電機大学 理工学部 理工学科 電子工学系
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 先端技術創成専攻
東京電機大学大学院 理工学研究科 電子工学専攻
職種 教授
発表年月日 2015/04
発表テーマ Effect of oxygen plasma treatment for various a-C:H films
会議名 Thermec 2013 (International conference on processing & manufacturing of advanced materials)
会議区分 国際会議
講演区分 その他