オオゴエ ヤスハル
OHGOE Yasuharu
大越 康晴
所属
東京電機大学 理工学部 理工学科 電子工学系
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 先端技術創成専攻
東京電機大学大学院 理工学研究科 電子工学専攻
職種
教授
発表年月日
2014/11
発表テーマ
RGB測定によるa-C:H成膜中のプラズマ発光状態の観察と成膜評価
会議名
第28回ダイヤモンドシンポジウム
学会区分
研究会・シンポジウム等
発表形式
口頭（一般）
単独共同区分
単独