オオゴエ ヤスハル
OHGOE Yasuharu
大越 康晴
所属
東京電機大学 理工学部 理工学科 電子工学系
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 先端技術創成専攻
東京電機大学大学院 理工学研究科 電子工学専攻
職種
教授
発表年月日
2002/09
発表テーマ
高周波プラズマCVD法による半球状構造物へのDLC膜の成膜（Ⅱ）
会議名
第63回応用物理学会学術講演会（秋季）
開催地名
新潟大学 五十嵐キャンパス
学会区分
全国学会
発表形式
口頭（一般）
発表者・共同発表者
髙田哲，大越康晴，齊藤智之，土本勝也，平栗健二，本間章彦，巽英介，妙中義之，福井康裕