オオゴエ ヤスハル
OHGOE Yasuharu
大越 康晴
所属
東京電機大学 理工学部 理工学科 電子工学系
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 先端技術創成専攻
東京電機大学大学院 理工学研究科 電子工学専攻
職種
教授
発表年月日
2002/11
発表テーマ
プラズマCVD法を用いた3次元構造物へのDLCの成膜
会議名
第16回ダイヤモンドシンポジウム
開催地名
日本工業大学 学友会館
学会区分
研究会・シンポジウム等
発表形式
ポスター