オオゴエ ヤスハル
OHGOE Yasuharu
大越 康晴
所属
東京電機大学 理工学部 理工学科 電子工学系
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 先端技術創成専攻
東京電機大学大学院 理工学研究科 電子工学専攻
職種
教授
発表年月日
2003/01
発表テーマ
プラズマCVD法による三次元構造物への薄膜堆積
会議名
第20回プラズマプロセッシング（SPP-20）研究会
開催地名
ホテルニューオータニ長岡
学会区分
研究会・シンポジウム等
発表形式
ポスター
発表者・共同発表者
髙田哲，大越康晴，齊藤智之，平栗健二