オオゴエ ヤスハル
OHGOE Yasuharu
大越 康晴
所属
東京電機大学 理工学部 理工学科 電子工学系
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 先端技術創成専攻
東京電機大学大学院 理工学研究科 電子工学専攻
職種
教授
発表年月日
2003/03
発表テーマ
プラズマCVD法による三次元薄膜堆積プロセスの評価” 第50回応用物理学関係連合講演会（春季）
会議名
第50回応用物理学関係連合講演会（春季）
開催地名
神奈川大学 横浜キャンパス
学会区分
全国学会
発表形式
口頭（一般）
発表者・共同発表者
髙田哲，齊藤智之，平栗健二