オオゴエ ヤスハル
OHGOE Yasuharu
大越 康晴
所属
東京電機大学 理工学部 理工学科 電子工学系
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 先端技術創成専攻
東京電機大学大学院 理工学研究科 電子工学専攻
職種
教授
発表年月日
2004/09
発表テーマ
複雑な三次元構造物を対象とした薄膜形成プロセスの開発
会議名
第65回応用物理学会学術講演会（秋季）
開催地名
東北学院大学 泉キャンパス
学会区分
全国学会
発表形式
口頭（一般）
発表者・共同発表者
大越康晴，髙田哲，大川貴久，土本勝也，佐藤慶介，平栗健二