オオゴエ ヤスハル
OHGOE Yasuharu
大越 康晴
所属
東京電機大学 理工学部 理工学科 電子工学系
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 先端技術創成専攻
東京電機大学大学院 理工学研究科 電子工学専攻
職種
教授
発表年月日
2007/11
発表テーマ
Carbon thin film deposition for 3-dimensional structures using r.f. plasma CVD
会議名
MJISAT 2007
開催地名
Kuala Lumpur, Malaysia
学会区分
国際学会
発表形式
口頭（一般）
発表者・共同発表者
Y. Ohgoe, K. K. Hirakuri, A. Funakubo, and Y. Fukui