| 言語種別 | 英語 |
|---|---|
| 発行・発表の年月 | 2018 |
| 形態種別 | 学術研究論文 |
| 査読 | 査読あり |
| 標題 | Effect of Oxygen Plasma Treatment on Film Structure for Different Types of DLC film |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | Transactions of the Materials Research Society of Japan |
| 掲載区分 | 国外 |
| 巻・号・頁 | 43(5),275-278 |
| 総ページ数 | 4 |
| 著者・共著者 | Tatsuya Mayama, Masanori Hiratsuka, Hideki Nakamori, Akihiko Homma, Kenji Hirakuri, Yasuharu Ohgoe |