研究期間 | 2010/04 ~ |
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研究課題 | 干渉のある多入出力系の制御に関する研究 |
実施形態 | 国内共同研究 |
研究委託元等の名称 | 株式会社KELK |
研究種目名 | 研究員 |
キーワード | 半導体製造プロセス、温度制御、現代制御理論、ディジタル制御、むだ時間、悲干渉化 |
研究制度(コードS) | 共同研究 |
代表分担区分 | 研究代表者 |
代表者 | 汐月哲夫 |
概要 | 半導体製造プロセスの温度制御において現代制御理論、特にモデル追従型の制御アルゴリズムの有効性について理論、実験の両面から検討する。 |