シオツキ テツオ
SHIOTSUKI Tetsuo
汐月 哲夫
所属
東京電機大学 未来科学部 ロボット・メカトロニクス学科
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 先端技術創成専攻
東京電機大学大学院 未来科学研究科 ロボット・メカトロニクス学専攻
職種
特定教授
研究期間
2010/04 ～
研究課題
干渉のある多入出力系の制御に関する研究
実施形態
国内共同研究
研究委託元等の名称
株式会社KELK
研究種目名
研究員
キーワード
半導体製造プロセス、温度制御、現代制御理論、ディジタル制御、むだ時間、悲干渉化
研究制度(コードS)
共同研究
代表分担区分
研究代表者
代表者
汐月哲夫
概要
半導体製造プロセスの温度制御において現代制御理論、特にモデル追従型の制御アルゴリズムの有効性について理論、実験の両面から検討する。