シノダ ヒロユキ SHINODA Hiroyuki
篠田 宏之
所属 東京電機大学 工学部 電子システム工学科
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻
東京電機大学大学院 工学研究科 電気電子工学専攻
職種 教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2019/10
形態種別 国際会議論文
査読 査読あり
標題 Surface Contamination with Si and O Impurities for GaN Single-Crystalline Layers Grown by Ultra-High-Vacuum Sputter Epitaxy
執筆形態 共著
掲載誌名 ECS Transactions
掲載区分 国外
出版社・発行元 IOP Publishing
巻・号・頁 92(2),245-251
著者・共著者 Ai Mizuno, Hiroyuki Shinoda, and Nobuki Mutsukura