シノダ ヒロユキ SHINODA Hiroyuki
篠田 宏之
所属 東京電機大学 工学部 電子システム工学科
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻
東京電機大学大学院 工学研究科 電気電子工学専攻
職種 教授
発表年月日 2011/08/31
発表テーマ UHVスパッタエピタキシーによるInGaN単結晶層の成長(III)
会議名 第72回応用物理学会学術講演会
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
発表者・共同発表者 飯島成規,二階堂真也,羽鳥貴善,小山田友樹,寒河江宏介,篠田宏之,六倉信喜