シノダ ヒロユキ SHINODA Hiroyuki
篠田 宏之
所属 東京電機大学 工学部 電子システム工学科
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻
東京電機大学大学院 工学研究科 電気電子工学専攻
職種 教授
発表年月日 2013/09
発表テーマ スパッタ技術による高品質半導体薄膜の形成とその応用
会議名 平成25年度次世代産業カレッジ
主催者 埼玉県産業労働部産業支援課
開催地名 東京電機大学東京千住キャンパス
会議区分 国内会議
講演区分 講師
単独共同区分 単独
発表者・共同発表者 篠田宏之