シノダ ヒロユキ
SHINODA Hiroyuki
篠田 宏之
所属
東京電機大学 工学部 電子システム工学科
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻
東京電機大学大学院 工学研究科 電気電子工学専攻
職種
教授
発表年月日
2014/03
発表テーマ
スパッタエピタキシー法によるGaN系及びZnO系半導体単結晶層の成長
会議名
日本真空学会 スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）第137回定例研究会
主催者
一般社団法人 日本真空学会
開催地名
東京都港区
会議区分
国内会議
講演区分
講師
単独共同区分
単独
発表者・共同発表者
篠田 宏之