フジタ トシノリ
FUJITA Toshinori
藤田 壽憲
所属
東京電機大学 工学部 先端機械工学科
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
東京電機大学 工学部 機械工学科
東京電機大学大学院 工学研究科 機械工学専攻
職種
教授
発表年月日
2011/11/15
発表テーマ
空気圧ベローズで駆動する静圧案内微動ステージの超精密位置決め
会議名
2011年 計測自動制御学会 産業応用部門大会
開催地名
東京都目黒区
学会区分
全国学会
発表形式
口頭（一般）
発表者・共同発表者
山本敏之，藤田壽憲，榊和敏，川嶋健嗣，香川利春