フジタ トシノリ
FUJITA Toshinori
藤田 壽憲
所属
東京電機大学 工学部 先端機械工学科
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
東京電機大学 工学部 機械工学科
東京電機大学大学院 工学研究科 機械工学専攻
職種
教授
言語種別
日本語
発行・発表の年月
2013/06
形態種別
学術研究報告書
標題
低流体ノイズ弁による空気圧ベローズ微動ステージのサブナノ位置決め制御法の開発
執筆形態
単著
掲載誌名
科学研究費助成事業（科学研究費補助金）研究成果報告書
巻・号・頁
1-6