サカキバラ ヨウコ
SAKAKIBARA Yoko
榊原 洋子
所属
東京電機大学 理工学部 理工学科 機械工学系
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
東京電機大学大学院 理工学研究科 機械工学専攻
職種
教授
国内外別
国内
知的財産権の種類
特許権
出願番号
2016-556684
出願年月日
2015/10/30
公開年月日
2016/05/06
特許番号
6637897
取得年月日
2019/12/27
特許名
ノズル、成膜装置及び皮膜の形成方法