発表年月日 | 2011/01/15 |
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発表テーマ | Stress distribution measurement in GaN semiconductor wafer using laser photoelasticity |
会議名 | Processing and Fabrication of Advanced Materials |
開催地名 | New Zealand |
学会区分 | 国際学会 |
発表形式 | 口頭(一般) |
発表者・共同発表者 | Kenji Gomi1 and Hiroshi Kusaga |