ゴミ ケンジ GOMI Kenji
五味 健二
所属 東京電機大学 工学部 機械工学科
東京電機大学大学院 工学研究科 機械工学専攻
職種 教授
発表年月日 2008/10/24
発表テーマ RESIDUAL STRESS ESTIMATION IN SIC WAFER USING IR POLARISCOPE
会議名 10th International Symposium on Electronics Materials and Packaging
開催地名 Taipei, Taiwan
学会区分 国際学会
発表形式 口頭(一般)
発表者・共同発表者 Kensuke Ichinose and Yasushi Niitsu