ゴミ ケンジ
GOMI Kenji
五味 健二
所属
東京電機大学 工学部 機械工学科
東京電機大学大学院 工学研究科 機械工学専攻
職種
教授
発表年月日
1994
発表テーマ
偏光レーザを用いたシリコン・ウエハの応力分布測定
会議名
日本機械学会
開催地名
東京
学会区分
全国学会
発表形式
口頭(一般)
発表者・共同発表者
新津・五味