ゴミ ケンジ
GOMI Kenji
五味 健二
所属
東京電機大学 工学部 機械工学科
東京電機大学大学院 工学研究科 機械工学専攻
職種
教授
発表年月日
2004/03/04
発表テーマ
赤外線レーザ光弾性法によるシリコンウエハの内部応力の定量化
会議名
（社）日本機械学会
学会区分
研究会・シンポジウム等
発表形式
口頭（一般）
発表者・共同発表者
学内者（指導下助手・院生・学部生）
概要
ＪＳＭＥ関東学生会第43回学生員卒業研究発表講演前刷集，[2004-3-4，東京]，207-208．