ゴミ ケンジ
GOMI Kenji
五味 健二
所属
東京電機大学 工学部 機械工学科
東京電機大学大学院 工学研究科 機械工学専攻
職種
教授
言語種別
英語
発行・発表の年月
2008/10
形態種別
国際会議論文
標題
RESIDUAL STRESS ESTIMATION IN SIC WAFER USING IR POLARISCOPE
執筆形態
共著
著者・共著者
Kensuke Ichinose and Yasushi Niitsu