ゴミ ケンジ
GOMI Kenji
五味 健二
所属
東京電機大学 工学部 機械工学科
東京電機大学大学院 工学研究科 機械工学専攻
職種
教授
言語種別
日本語
発行・発表の年月
1998/03
形態種別
会議論文
標題
赤外線レーザ光弾性法によるGaAsウエハの残留応力測定
執筆形態
共著
掲載誌名
日本機械学会講演論文集
巻・号・頁
(98-1-2),34-35
著者・共著者
新津
概要
新津