ゴミ ケンジ GOMI Kenji
五味 健二
所属 東京電機大学 工学部 機械工学科
東京電機大学大学院 工学研究科 機械工学専攻
職種 教授
研究期間 1998/04 ~ 2000/03
研究課題 GaAsウエハの残留応力場とウエハ熱処理時に誘起される転位の関係
実施形態 科学研究費補助金
研究種目名 奨励(A)
科研費研究課題番号 10750076
科研費分類 材料力学、機械材料
代表分担区分 研究代表者