ゴミ ケンジ
GOMI Kenji
五味 健二
所属
東京電機大学 工学部 機械工学科
東京電機大学大学院 工学研究科 機械工学専攻
職種
教授
研究期間
1998/04 ~ 2000/03
研究課題
GaAsウエハの残留応力場とウエハ熱処理時に誘起される転位の関係
実施形態
科学研究費補助金
研究種目名
奨励(A)
科研費研究課題番号
10750076
科研費分類
材料力学、機械材料
代表分担区分
研究代表者