ゴミ ケンジ GOMI Kenji
五味 健二
所属 東京電機大学 工学部 機械工学科
東京電機大学大学院 工学研究科 機械工学専攻
職種 教授
言語種別 日本語
資源名称 光弾性法による半導体ウエハの応力測定装置による測定 ,光弾性法による応力測定装置による測定,マイクロビッカース硬度計による測定