| 言語種別 | 英語 |
|---|---|
| 発行・発表の年月 | 2014/04 |
| 形態種別 | 国際会議論文 |
| 査読 | 査読あり |
| 標題 | IDENTIFICATION OF SHAPE OF AXIS IN XY-STAGE |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | International Scientific Conference Coordinate Measuring Technique |
| 出版社・発行元 | University of Bielsko-Biala |
| 著者・共著者 | ◎Ryoshu FURUTANI, Keisuke IORI and Miyu OZAKI |