モトハシ ミツヤ MOTOHASHI Mitsuya
本橋 光也
所属 東京電機大学 工学部 情報通信工学科
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 物質生命理工学専攻
東京電機大学大学院 工学研究科 情報通信工学専攻
職種 教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2023/10/20
形態種別 学術研究論文
査読 査読あり
標題 極低濃度 HF 水溶液を用いた陽極酸化により作製したSi 基板上酸化膜の原子結合状態
執筆形態 共著
掲載誌名 材料の科学と工学
掲載区分 国内
出版社・発行元 日本材料科学会
巻・号・頁 60(5),153-158
総ページ数 6
担当区分 責任著者
著者・共著者 ◎新井太貴,吉越章隆,本橋光也