モトハシ ミツヤ
MOTOHASHI Mitsuya
本橋 光也
所属
東京電機大学 工学部 情報通信工学科
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 物質生命理工学専攻
東京電機大学大学院 工学研究科 情報通信工学専攻
職種
教授
言語種別
日本語
発行・発表の年月
2023/10/20
形態種別
学術研究論文
査読
査読あり
標題
極低濃度 HF 水溶液を用いた陽極酸化により作製したSi 基板上酸化膜の原子結合状態
執筆形態
共著
掲載誌名
材料の科学と工学
掲載区分
国内
出版社・発行元
日本材料科学会
巻・号・頁
60(5),153-158
総ページ数
6
担当区分
責任著者
著者・共著者
◎新井太貴,吉越章隆,
本橋光也