ヒラクリ ケンジ
HIRAKURI Kenji
平栗 健二
所属
東京電機大学 工学部 電気電子工学科
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻
東京電機大学大学院 工学研究科 電気電子工学専攻
職種
教授
発表年月日
2005/09/07
発表テーマ
［RF プラズマ CVD 法による厚い PC 基板への DLC 堆積］
会議名
第66回応用物理学会学術講演会， 徳島大学，
学会区分
全国学会
発表形式
口頭（一般）
発表者・共同発表者
龍田和也， 松井優太， 山口聖測， 佐藤慶介， 平栗健二，