ヒラクリ ケンジ HIRAKURI Kenji
平栗 健二
所属 東京電機大学 工学部 電気電子工学科
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻
東京電機大学大学院 工学研究科 電気電子工学専攻
職種 教授
発表年月日 2005/11/24
発表テーマ [RF プラズマ CVD 法による厚い PC 基板への DLC 堆積]
会議名 第19回ダイヤモンドシンポジウム, 大阪大学,
学会区分 研究会・シンポジウム等
発表形式 口頭(一般)
発表者・共同発表者 龍田和也, 佐藤慶介, 平栗健二,