ヒラクリ ケンジ
HIRAKURI Kenji
平栗 健二
所属
東京電機大学 工学部 電気電子工学科
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻
東京電機大学大学院 工学研究科 電気電子工学専攻
職種
教授
発表年月日
2002/09
発表テーマ
[Application of DLC films to IC fabrication process as a mask] International Conference of Diamond 2002
開催地名
Granada, Spain
会議区分
国際会議
講演区分
基調講演
招待講演フラグ
招待講演