言語種別 | 英語 |
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発行・発表の年月 | 1997 |
形態種別 | 学術研究論文 |
査読 | 査読あり |
標題 | Thin film characterization of diamond-like carbon films prepared by r.f. plasma chemical vapor deposition |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | Thin Solid Films |
巻・号・頁 | 302,5-11 |
著者・共著者 | T. Minorikawa, G. Friedbacher, M. Grasserbauer |