ヒラクリ ケンジ
HIRAKURI Kenji
平栗 健二
所属
東京電機大学 工学部 電気電子工学科
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻
東京電機大学大学院 工学研究科 電気電子工学専攻
職種
教授
言語種別
英語
発行・発表の年月
1995
形態種別
学術研究論文
査読
査読あり
標題
Rf plasma properties of flat electrodes with multi-input terminals
執筆形態
共著
掲載誌名
Vacuum
巻・号・頁
46(1),57-60
著者・共著者
N. Mutsukura, Y. Machi