モリヤマ サトシ MORIYAMA Satoshi
森山 悟士
所属 東京電機大学 工学部 電気電子工学科
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻
東京電機大学大学院 工学研究科 電気電子工学専攻
職種 教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2023/02
形態種別 国際会議論文
査読 査読あり
標題 Introduction of deep level impurities, S, Se, and Zn, into Si wafers for high-temperature operation of a Si qubit
執筆形態 共著
掲載誌名 Japanese Journal of Applied Physics
掲載区分 国外
出版社・発行元 IOP Publishing
巻・号・頁 62,SC1054-1-SC1054-5
総ページ数 5
著者・共著者 Yoshisuke Ban, Kimihiko Kato, Shota Iizuka, Shigenori Murakami, Koji Ishibashi, Satoshi Moriyama, Takahiro Mori, and Keiji Ono
DOI 10.35848/1347-4065/acae60