マツヤ イワオ
MATSUYA Iwao
松谷 巌
所属
東京電機大学 理工学部 理工学科 機械工学系
東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
東京電機大学大学院 理工学研究科 機械工学専攻
職種
准教授
発表年月日
2004/09/01
発表テーマ
Siナノピラミッドの高密度配列形成（X）—TMAHによるSiエッチングの最適化—
会議名
第65回応用物理学会学術講演会
主催者
応用物理学会
開催地名
宮城県
学会区分
全国学会
発表形式
口頭（一般）